برخی از اولین ابزارهای اندازه گیری مکانیکی در ساخت ماشین آلات از قبیل مربع ، کالیپرها و غیره مورد استفاده قرار گرفتند. در سالهای 1772 و 1805 ، بریتانیایی J. Watt و H. Modsley برای اندازه گیری طول میکرومتر وات و کالیبراسیون با دستگاه اندازه گیری طولانی ، از اصل جفت نخ استفاده کرده اند. از اواسط قرن نوزدهم ، ابزارهای اندازه گیری میکرومتر بیرونی خارجی و ابزارهای اندازه گیری کولیس ورنیر شبیه به مکانیکی مدرن وجود داشته است. در اواخر قرن 19 ، مجموعه هایی از بلوک های اندازه گیری ظاهر شد. ابزار اندازه گیری مکانیکی زیر مجموعه ای از ابزارهای اندازه گیری نوری قرار گرفت. در پایان قرن 19 ، ابزار اندازه گیری طول عمودی ظاهر شد ، در آغاز قرن 20 ، دستگاه اندازه گیری طول ظاهر شد. در دهه 1920 ، این پروژکتور در پروژکتورهای تولید مکانیک ، میکروسکوپهای ابزار ، میکرومترهای نوری و سایر اندازه گیریها مورد استفاده قرار گرفته بود. در سال 1928 ، کنتور گاز حرکت کرد. این یک ابزار اندازه گیری مناسب برای تولید انبوه است. ابزار اندازه گیری برق در دهه 1930 به وجود آمد. اولین آنها سنجهای مرز و پروفیلهای ساخته شده از حسگرهای طول استقرایی بودند. در اواخر دهه 50 ، دستگاه های اندازه گیری مختصات با نمایش دیجیتالی نتایج اندازه گیری ظاهر شدند. در اواسط دهه 1960 ، ماشین آلات اندازه گیری مختصات با اندازه گیری های به کمک رایانه در ساخت مکانیک مورد استفاده قرار گرفت. در آغاز دهه 1970 ، کنترل دیجیتال رایانه ای کنتور چرخ دنده ، تاکنون ابزار اندازه گیری به کارگیری رایانه های الکترونیکی روی صحنه رفته است.
